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深圳市科时达电子科技有限公司 主营产品:电子材料,半导体仪器设备,医疗设备三大产品领域的,是一家集研发,制造,为一体的企业我们的主营业务涉及了研发及加工电子材料及周边产品,电子光电产品设备研发组装及,半导体仪器设备,国内贸易,货物及技术进出口,医疗器械研发及,医用耗材及医疗用品的等

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CAMECA全自动在线二次离子质谱仪AKONIS

价格:¥ 电议

品牌名称:$brandModel.Title型号: 原产地:欧洲 更新时间:2024/3/13 6:48:45

产品摘要:

产品完善度: 访问次数:204

分光光度计

探针台

扫描仪

能谱仪

X射线衍射仪

旋光仪

激光粒度仪

纳米压痕仪

流变仪

消解系统

磁学测量系统

振动样品磁强计

氮化炉

研磨仪

色谱仪

真空泵

质譜仪

光刻胶

电子束刻蚀系统

椭偏仪

分析仪

成像仪

光谱仪

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手机网站:http://wap.app17.com/c162928/

公司网站:http://www.szkesda.com

详细内容

用于半导体晶圆厂中成分测量的全自动 SIMS

AKONIS SIMS 工具通过直接在半导体生产线中提供对注入分布、成分分析和界面数据的高产量、高精度检测,填补了半导体制造工艺中的重要空白。AKONIS 有非常高的自动化水平,确保了各种工具在晶圆厂工艺控制和工具之间匹配方面的可重复性。


除传统的通过表征实验室为半导体行业提供支持的IMS Wf/SC Ultra和 SIMS 4550(四杆 SIMS)系列外,AKONIS作为其 补充,可实现仪器设置和采集例程的完全自动化,从而可在分析灵敏度不受影响的情况下实现快速的厂内分析。AKONIS 受益于低冲击能量(EXLIE)离子色谱柱技术(< 150 eV)的发展,与带高分辨率平台的整片晶圆处理系统相结合,可在小 20 μm 的压焊点上进行测量。

推动实现 N5 及后继制程的高产量

SiGe 和 SiP 多层堆叠的高分辨率成分和快速掺杂物深度剖析
无与伦比的小 20 μm 在压焊点上的检测限
将数据反馈到生产线的时间缩短了 97% 以上
光片和图案化的整片晶圆测量
图案识别引擎与高分辨率干涉测量平台相结合,可实现 < 2 μm 的位置精度
基于独特材料数据库的直观recipe创建
SEMI 认证(S2/S8、E4、E5、E39、E84...)
低购置成本

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