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球差场发射透射电子显微镜

点击次数:504发布时间:2021/9/23

球差场发射透射电子显微镜

更新日期:2022/10/31 9:21:43

生 产 地:中国大陆

产品型号:HF5000

简单介绍:标配日立生产的照射系统球差校正器(附自动校正功能)
搭载具有高辉度、高稳定性的冷场FE电子枪
镜体和电源等的高稳定性使机体的性能大幅度提升
观察像差校正SEM/STEM图像的同时观察原子分辨率SE图像
采用侧面放入样品的新型样品台结构以及样品杆
支持高立体角EDX*的对称配置(对称Dual SDD*)
采用全新构造的机体外壳盖
配备日立生产的高性能样品杆*
*选项

详细内容

 
  1. 标配日立生产的照射系统球差校正器(附自动校正功能)
  2. 搭载具有高辉度、高稳定性的冷场FE电子枪
  3. 镜体和电源等的高稳定性使机体的性能大幅度提升
  4. 观察像差校正SEM/STEM图像的同时观察原子分辨率SE图像
  5. 采用侧面放入样品的新型样品台结构以及样品杆
  6. 支持高立体角EDX*的对称配置(对称Dual SDD*
  7. 采用全新构造的机体外壳盖
  8. 配备日立生产的高性能样品杆*
*
选项


高辉度冷场FE电子枪×高稳定性×日立制球面像差校正器

以长年积累起来的高辉度冷场FE电子源技术为基础,进行优化,进一步实现电子枪的高度稳定性。
此外,还更新了镜体,电源系统和样品台,以支持观察亚Å图像,并提升了机械和电气稳定性,然后与日立公司的球差校正器结合使用。
不仅可以稳定地获得更高亮度更精密的探头,而且自动像差校正功能可以实现快速校正,从而易于发挥设备的固有性能。使像差校正可以更实用。

Si(211)单晶体HAADF-STEM图像(左)和图像强度曲线分布(右下)、FFT功率谱(右上)
Si(211)单晶体HAADF-STEM图像(左)和图像强度曲线分布(右下)、FFT功率谱(右上)
 

支持高立体角EDX* 的对称Dual SDD*

支持双重配置100 mm2 SDD检测器,以实现更高的灵敏度和处理能力进行EDX元素分析。
由于二号检测器位于一号检测器的对面位置,因此,几乎不会因为样品倾斜,导致X射线中的信号检测量发生变化。所以,即使是结晶性样品,也不用顾忌信号量,可完全按照样品的方向与位置进行元素分析。
此外,对于电子束敏感样品、低X光辐射量的样品,除了原子列映射,在低倍、广视野的高精细映射等域也为有效。

GaAs(110)的原子柱EDX映射
GaAs(110)的原子柱EDX映射

像差校正SEM图像/STEM图像 同时观察

配有标配二次电子检测器,可同时观察像差校正SEM/STEM图像。通过同时观察样品的表面和内部结构,可以掌握样品的三维构造。
在像差校正SEM图像中,除了可以通过校正球差来提高分辨率之外,还可以获取更真实地样品表面图像。

Au/CeO2催化剂的SEM/ADF-/BF-STEM图像(上段)和Au粒子的高分辨率图像(下段)
Au/CeO2催化剂的SEM/ADF-/BF-STEM图像(上段)和Au粒子的高分辨率图像(下段)



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