Ø 容易安装和使用 

一般特性：
电 源：100.120.220.240VAC.50-60周期。
样品高度：所有系统都配置可调节高度的样品台，调节灯与样品之间的间距，并带位置锁定，标准样品台尺寸为UV格栅灯大小或更大。
UV格栅灯：产生臭氧的低压汞格栅灯，带反射罩。灯管寿命大约为5000小时。
UV反射罩：UV反射罩一般比UV格栅灯大一英寸。比如4×4英寸灯管反射罩尺寸是5×5英寸。
样品放置：打开清洗腔上盖，露出样品台，允许360度装入样品。
安全装置：当清洗腔打开时，系统安全锁会关掉UV灯。
进出气口：标准配置2个气接口，可选更多。
反应腔：选项客户化定制，铝或石英材料。
臭氧中和器：中和器用于臭氧排除。（PSD和PSDP选项）
工作原理：PSD系列产品通过产生185nm和254nm高强度UV光分解有机分子（污染物）。185nm的光可以将氧分子O2转变成活性的O3臭氧分子。254nm的光同时激发表面的有机分子，使其更容易被臭氧分子吸收并分解。由于臭氧分子存在时间短并且同时也被254nm光分解，样品台可以调节样品到灯管的距离来优化性能。PSD和PSDP分解有机污染物，然后形成CO2和H2O蒸气，同时也将臭氧分子转变成氧分子。

真空系统:

无油真空系统（干泵3.8L/min）

3min内达到所需真空度清洗系统:

2种清洗模式

真空清洗和真空储存

清洗时间范围为1min-30min（步幅1min）

真空系统:

样品杆:

3孔或5孔可选

适合于各型号透射电镜样品杆

无油真空系统（干泵3.8L/min）

3min内达到所需真空度清洗系统:

2种清洗模式

真空清洗和真空储存

清洗时间范围为1min-30min（步幅1min）

真空系统:

样品杆:

3孔或5孔可选

有效清理区域直径3mm