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清洗: 工艺部件的表面通过离子束的物理轰击而被清洗,也可与特定气体发生化学反应从而被清洗,清洗掉的工艺污染物转化为气相被排出。
ZEPTO 配置可选:主要技术参数:
1. 手动控制
2. *根据工艺要求不同,可设定功率、压强、气体流量等参数
3. 双路工作气体,浮球气体流量计
4. 反应舱为高硼硅玻璃,Ø105 mm*L300mm,容积为2.6L
5. 发生器频率40KHz,功率0~100W无级可调
6. 电极材质为铝/不锈钢
7. 运行模式为手动
8. 真空泵的排气能力为4m3/Hour,国产飞越真空泵,配有强制进气阀
9. 配有压力传感器,显示腔体内压力大小
10. 钠钙玻璃托盘:宽85mm,长260mm,厚5mm
11. 外尺寸:W425*D450*H185mm
12. 电源电压:单相AC230V 16A
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可根据用户选配置,可选择大腔体。
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