您好,欢迎来到阿仪网 请登录 免费注册

  • 高级会员服务
  • |
  • 广告位服务
  • |
  • 设为首页
  • |
  • 收藏本站
  • |
  • 企业档案

    • 会员类型:标准版会员
    • 阿仪网标准版会员:6
    • 工商认证【已认证】
    • 最后认证时间:
    • 注册号: 【已认证】
    • 法人代表: 【已认证】
    • 企业类型:代理商 【已认证】
    • 注册资金:人民币1080万 【已认证】
    • 产品数:438

深圳市蓝星宇电子科技有限公司 主营产品:光刻机,真空镀膜机,离子刻蚀机,,半导体辅助材料,半导体微纳检测仪器,太阳能吸收率发射击队率检测仪,,实验检测仪器设备,紫外线UV光清洗机UV灯.

当前位置: 阿仪网 > 光学仪器 > 光学应用 > 光学平台 > 深圳市蓝星宇电子科技有限公司 > 产品展示 > 镀膜沉积机 > 芬兰Picosun > 高级型原子层沉积机

高级型原子层沉积机

价格:¥电议

品牌名称:$brandModel.Title型号:R-200 ALD原产地:欧洲 更新时间:2024/3/28 9:40:48

产品摘要:芬兰PICOSUN™ R-200高级型 ALD,
衬底尺寸和类型 :
。50-200 mm /单片
。156 mm x 156 mm太阳能硅片
。3D复杂表面衬底
。粉末与颗粒
。Roll-to-roll , 衬底宽 70 mm
。多孔,通孔,高深宽比(HAR)样品

产品完善度: 访问次数:524

光刻机&3D打印机

镀膜沉积机

离子刻蚀与沉积

匀胶涂覆机

半导体辅助设备

半导体微纳检测仪器

实验检测仪器

紫外清洗等离子清洗机

太阳能检测仪

德国YXLON 检测仪

德国Netzsch

Rion 液体光学颗粒度仪

液体光学颗粒度仪

奥地利EVG光刻杨键合机压印机

尼康Nikon光刻机

德国Lecia 切片掩膜一体机

日本Elionix

化学开封机 / 激光开封机

光刻胶/硅片

半导体辅助工艺/光刻胶

日立Hitachi

UV灯

企业档案

会员类型:标准版会员

已获得阿仪网信誉   等级评定
14成长值

(0 -40)基础信誉积累,可浏览访问

(41-90)良好信誉积累,可接洽商谈

(91+  )优质信誉积累,可持续信赖

阿仪网标准版会员:6

工商认证 【已认证】

最后认证时间:

注册号: 【已认证】

法人代表: 【已认证】

注册资金:人民币1080万 【已认证】

产品数:438

参观次数:675329

手机网站:http://wap.app17.com/c143096/

公司网站:http://www.lxyee.net

详细内容


芬兰PICOSUN™ R-200高级型 ALD

技术参数

衬底尺寸和类型 :
 。50-200 mm /单片
 。156 mm x 156 mm太阳能硅片
 。3D复杂表面衬底
 。粉末与颗粒
 。Roll-to-roll , 衬底宽 70 mm
 。多孔,通孔,高深宽比(HAR)样品

工艺温度:
 50 - 500 °C , 可选更高温度

基片传送选件:
 。气动升降(手动装载)
 。预真空室安装磁力操作机械手(Load lock )
 。半自动装载,用PICOPLATFORM™200集群系统实现
 。25片晶圆盒对盒式全自动装载(cassette-to-cassette),用PICOPLATFORM™200集群系统实现

前驱体
 :
 。液态、固态、气态、臭氧源、等离子体(*多4路气体)
 。6根独立源管线,*多加载12个前驱体源(加上Plasma管路,共7根独立源管线)

重量
 :350 + 200 kg

尺寸
 :(W x H x D) 取决于选件

*小
 :146 cm x 146 cm x 84 cm

 :189 cm x 206 cm x 111 cm

选件
 :集群工具,PICOFLOW™ 扩散增强器,集成椭偏仪,QCM,RGA,超高真空兼容,N2发生器,尾气处理器,定制设计,手套箱集成(用于惰性气体下装载)

验收标准 :
标准设备验收标准为 Al2O3工艺
   
 

相关文章

相关产品

快速导航

在线咨询5分钟应答

提交