Aerotech精密直线定位平台
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详细内容
Aerotech精密直线定位平台
赵贵军:185-1855-9188 邮箱:guijun.zhao@goldkong.com
产品简介
Aerotech的线性定位平台,包括利用我们自己的无刷线性直接驱动伺服电机及有刷或无刷旋转电机驱动的滚珠丝杠。Aerotech为工业机器人,光纤和光子学,视觉系统,机床,组件,半导体设备,医疗部件激光加工,激光微加工,电子制造中的高性能应用提供线性定位平台,以及其他工业自动化应用。Aerotech线性位移台具有X,XY和XYZ等组合。
产品选型
ABL1000系列气浮直线电机定位平台
行程:可达150mm
驱动方式:直线电机
分辨率:0.5nm
速度:300mm/s
加速度:1g
负载:15kg
定位精度:±0.2 µm
重复定位精度; ±50 nm
直线度、平面度:±0.25 µm
俯仰:±0.25 arc sec
常用型号:
ABL1000-025
ABL1000-050
ABL1000-100
ABL1000WB-050
ABL1000WB-100
ABL1000WB-150
ABL1500系列气浮直驱平台
行程:可达500mm
定位精度:±0.2 µm
重复定位精度:±0.05 µm
直线度/平面度:±0.25 µm
大速度:2 m/s
大加速度:2 g
大负载:35kg
常用型号:
ABL1500-050
ABL1500-100
ABL1500-200
ABL1500-300
ABL1500-400
ABL1500-500
ABL1500-B系列气浮直线定位平台
行程:可达500mm
定位精度:±0.3 µm
重复定位精度:±0.15 µm
直线度:±0.25 µm
平面度:±0.25 µm
大速度:2 m/s
大加速度:2 g
常用型号:
ABL1500-B-050
ABL1500-B-100
ABL1500-B-200
ABL1500-B-300
ABL1500-B-400
ABL1500-B-500
ABL1500WB系列气浮直线平台
行程:可达500mm
定位精度:±0.4 µm
重复定位精度:±0.1 µm
直线度:±0.5 µm
平面度:±0.5 µm
大速度:2 m/s
大加速度:2 g
大竖直方向负载:60 kg
常用型号:
ABL1500WB-200
ABL1500WB-300
ABL1500WB-400
ABL1500WB-500
ABL1500WB-B系列气浮直线平台
行程:可达500mm
定位精度:±0.5 µm
重复定位精度: ±0.25 µm
直线度/平面度:±0.5 µm
大速度:2 m/s
大加速度:2g
常用型号:
ABL1500WB-B-200
ABL1500WB-B-300
ABL1500WB-B-400
ABL1500WB-B-500
ABL2000系列气浮直线平台
行程:可达1000mm
大速度:2 m/s
大加速度:2g
定位精度:±0.75 µm
重复定位精度:±0.3 µm
直线度/平面度:±2.0 µm
常用型号:
ABL2000-0100
ABL2000-0200
ABL2000-0300
ABL2000-0400
ABL2000-0500
ABL2000-0750
ABL2000-1000
ABL8000系列气浮直线平台
定位精度:±0.5 µm
重复定位精度:±0.2 µm
平面度:±0.4 µm
大速度:2 m/s
大加速度:2g
常用型号:
ABL8000-0200
ABL8000-0300
ABL80000-0400
ABL8000-0500
ABL8000-0750
ABL8000-1000
ANT95L单轴线性直驱纳米定位平台
特点:
1、比较长行程范围可实现纳米运动
2、高分辨率,高精度
3、位置稳定精度<1nm
4、交叉滚柱轴承
5、高动态性能
应用:
例如高精度定位,磁盘驱动器制造,光纤对准,光学延迟元件致动,传感器测试和需要扫描的扫描过程平稳而精确的运动。
参数:
定位精度:±250 nm
重复定位精度:±75 nm
分辨率:1nm
行程:可选100mm
直线度:2um
大速度:500毫米/
大加速度:3g
位置抖动:<1 nm
常用型号:
ANT95L-025
ANT95L-050
ANT95L-075
ANT95L-100
ANT130L线性直驱纳米定位系统
参数:
行程:可选160mm
定位精度:±250 nm
分辨率:1 nm
重复定位精度:±25 nm
直线度:±1.0 µm
平面度:±1.0 µm
速度:350 mm/s
加速度:1g
位置抖动:<1 nm
常用型号:
ANT130L-035
ANT130L-060
ANT130L-110
ANT130L-160
ANT180L纳米定位平台
行程:360mm
定位精度:±150 nm
重复定位精度:±100 nm
分辨率:1nm
直线度:±1.0 µm
大速度:500 mm/s
大加速度:2g
ANT180L-160 ANT180L-210 ANT180L-260 ANT180L-360
ALS130H系列直线定位平台
行程150mm
供电:高80V
分辨率:0.5nm-1nm
大速度:300mm/s
大加速度:1g
大负载:12kg
定位精度:±0.3um
重复定位精度:75nm
直线度:±1um
常用型号:
ALS130H-025
ALS130H-050
ALS130H-100
ALS130H-150
ALS135系列直线定位平台
行程:200mm
分辨率:0.0025 µm - 1.0 µm
速度:300 mm/s
大加速度:1g
大负载:15kg
定位精度:±0.3um
重复定位精度:±100nm
常用型号:
ALS135-025 ALS135-050 ALS135-100 ALS135-150 ALS135-200
PRO115LM
行程:可达600mm
定位精度:±0.75 µm
分辨率:5nm
重复定位精度:±0.4 μm
直线度:±1.5 μm
大速度:2m/s
大加速度:3g
负载:40kg
PRO165LM
定位精度:±1 μm
行程:可达1000mm
分辨率:5nm
重复定位精度:±0.4 μm
大速度:2 m/s
大加速度:3g
负载:45kg
PRO190LM
行程:1000mm
定位精度:±1 μm
分辨率:5nm
重复定位精度:±0.3 μm
直线度:±1.5 μm
速度:2m/s
加速度:3g
PRO225
行程:可达1500mm
定位精度:±1um
分辨率:1nm
重复定位精度:±0.4um
大速度:2m/s
大加速度:3g
负载:100kg
PRO280LM
行程:可达1500mm
定位精度:±1um
分辨率:5nm
重复定位精度:±0.4um
大速度:2m/s
大加速度:3g
大负载:150kg
PRO560LM
行程:可达1500mm
定位精度:±1um
分辨率:5nm
重复定位精度:±0.4um
大速度:2m/s
大加速度:3g
大负载:150kg
ECO165M
行程:600mm
定位精度:±1.5um
分辨率:10nm
重复定位精度:±0.75um
直线度:±3um
大速度:2m/s
大加速度:1.5g
大负载:45kg
ECO225LM
行程:800mm
定位精度:±1.5 μm
分辨率:10nm
重复定位精度:±0.75um
直线度:±2.5um
速度:2.5m/s
加速度:1.5g
负载:100kg
MPS50SL
行程50mm
定位精度:±1.5 µm
分辨率; 0.1 µm
直线度; ±2.0 µm
速度:5 mm/s
负载: 5 kg
常用型号:
MPS50SL-025
MPS50SL-050
MPS75SL
行程:100mm
定位精度:±1.0 µm
分辨率:0.1um
直线度:±2.0 µm
速度:50 mm/s
负载:15kg
常用型号:
MPS75SL-025
MPS75SL-050
MPS75SL-075
MPS75SL-100
MPS75SLE
行程:100mm
定位精度:±0.75 µm
分辨率:0.025 µm
直线度; ±2.0 µm
速度:50 mm/s
负载:15kg
常用型号:
MPS75SLE-025
MPS75SLE-050
MPS75SLE-075
MPS75SLE-100
ATS100
行程:200mm
速度:100 mm/s
速度:25.0 kg
定位精度:±0.5 µm
重复定位精度:±0.3 µm
直线度:±0.5 µm
常用型号:
ATS100-050
ATS100-100
ATS100-150
ATS100-200
ATS150
负载:250mm
分辨率:0.001 µm - 0.2 µm
大速度:115 mm/s
大负载:45.0 kg
定位精度:±1.0 µm
重复定位精度:±0.5 µm
常用型号:
ATS150-100
ATS150-150
ATS150-200
ATS150-250
行程:150mm
定位精度:±0.5 µm
分辨率:0.025 µm
ATX115SL
ATX115SLE
行程:250mm
定位精度:±0.4 µm
分辨率; 0.025 µm
重复定位精度:±0.15 µm
直线度:±1.75 µm
速度:可达130 mm/s
负载:40 kg
ATX165SL
ATX165SLE
PRO115SE
PRO115SLE
行程:600mm
定位精度:±1 μm
分辨率:0.05 μm
重复定位精度:±0.5 μm
直线度:±1.5 μm
速度:300 mm/s
PRO165SE
PRO165SLE
行程:600mm
定位精度: ±1 μm
分辨率:0.05 μm
重复定位精度:±0.5 μm
大速度:300mm/s
PRO190SE
PRO190SLE
行程:800mm
定位精度: ±1 μm
分辨率:0.05 μm
重复定位精度:±0.5 μm
大速度:300mm/s
负载; 60 kg
PRO225SE
PRO225SLE
行程:1000mm
定位精度: ±1 μm
分辨率:0.05 μm
重复定位精度:±0.5 μm
大速度:220 mm/s
负载; 100 kg
PRO280SE
PRO280SLE
行程:1000mm
定位精度: ±1 μm
分辨率:0.05 μm
重复定位精度:±0.5 μm
大速度:220 mm/s
负载; 150 kg
PRO560SE
PRO560SLE
行程:1000mm
定位精度: ±1 μm
分辨率:0.05 μm
重复定位精度:±0.5 μm
大速度:220 mm/s
负载; 150 kg
ECO115SL
行程:600mm
定位精度: ±5 μm
分辨率:0.2 μm
重复定位精度:±4μm
大速度:300 mm/s
负载; 40 kg
ECO165SL
行程:600mm
定位精度: ±5 μm
分辨率:0.2 μm
重复定位精度:±4μm
大速度:300 mm/s
负载; 40 kg
ECO225SL
行程:800mm
定位精度: ±5 μm
分辨率:0.2 μm
重复定位精度:±4μm
大速度:300 mm/s
负载; 40 kg
ANT95XY两轴直线电机纳米定位平台
行程:50mm
定位精度:±0.25 µm
分辨率:1 nm
重复定位精度:±25 nm
大速度:500 mm/s
位置稳定性: <1 nm
大推力:9.5 N
大负载:6kg
常用型号:
ANT95XY-025
ANT95XY-050
ANT130XY两轴直线电机纳米定位平台
行程:160mm
定位精度:±250 nm
分辨率:1 nm
重复定位精度:±25 nm
大速度:500 mm/s
位置稳定性: <1 nm
大推力:23 N
大负载:12kg
常用型号:
ANT130XY-060
ANT130XY-110
ANT130XY-160
PlanarDL两轴机械轴承直驱定位平台
行程:300 mm x 300 mm
定位精度: ±0.4µm
重复定位精度:±0.1 µm
分辨率:3 nm
直线度:±0.4 µm
平面度:±1 µm
大速度:1000 mm/s
大加速度:2g
大推力:156 N
大负载:30kg
常用型号:
PlanarDL-100XY
PlanarDL-200XY
PlanarDL-300XY
PlanarSL两轴机械轴承直驱定位平台
行程: 100 mm x 100 mm
定位精度:±1.0 µm
重复定位精度:±3um
分辨率:0.1 µm
直线度:±2.0 µm
平面度:±2.0 µm
速度:30 mm/s
负载:20 kg
常用型号:PlanarSL-100XY
PlanarDLA中空两轴直驱定位平台
行程:330 mm x 330 mm
定位精度:±0.4 µm
分辨率; 3.0 nm
平面度:±1.25 µm
大速度:2m/s
大加速度:2g
大负载:50 kg
常用型号:
PlanarDLA-150XY
PlanarDLA-250XY
PlanarDLA-330XY
ABL3600气浮开放式两轴直驱线性平台
型号:ABL36035
参数:
行程:250 mm x 250 mm
分辨率:0.001 µm - 0.2 µm
大速度:200 mm/s
大加速度:0.25 g (No Load)
大负载: 30.0 kg
定位精度: ±1 µm
重复定位精度:±0.2 µm
直线度:±0.5 µm
平面度:±1 µm
ATS3600机械轴承丝杠驱动双轴直线定位台
行程:400mm
大速度:200 mm/s
大负载:90.0 kg
定位精度:±2.0 µm
重复定位精度:±1.0 µm
常用型号:
ATS3600-100XY
ATS3600-200XY
ATS3600-300XY
ATS3600-400XY
ABL9000两轴气浮直驱线性平台
型号:1200 mm x 1200 mm
大加速度:1 g
大负载:125.0 kg
定位精度:±1.5 ppm
重复定位精度:±0.1 µm
直线度:±0.5 µm
常用型号:
ABL9000-0300-0300
ABL9000-0500-0500
ABL9000-0750-0750
ABL9000-1000-1000
ABL9000-1200-1200
AHL9000系列混合承载轴承XY平台
行程:350 mm x 350 mm
分辨率:0.0005 µm - 1.0 µm
大速度:1000 mm/s
定位精度:±1.0 µm
重复定位精度:±0.2 µm
直线度:0.6 µm
常用型号:AHL90350-350
PlanarHD 系列两轴气浮直线平台
高2m/s的速度,5g加速度,行程可达1.2m,直线光栅或者激光干涉仪反馈
定位精度:±300 nm,重复定位精度:±50 nm,位置稳定精度:20 nm
PlanarHDX两轴平面气浮台
速度1.5m/s 加速度5g 行程:750 mm x 750 mm 定位精度:±100 nm
重复定位精度:±15 nm 大负载40kg
常用型号:
PlanarHDX-450-450 PlanarHDX-600-600 PlanarHDX-750-750
MPS50SV和MPS75SV微型机械轴承丝杠驱动升降台
行程:5mm 定位精度:±1.0 µm 分辨率:0.05 µm 重复定位精度:±0.75 µm
直线度:±3.0 µm 大速度:5.5 mm/s
常用型号:
MPS50SV-5 MPS75SV-5
AVS100/AVSI100系列机械轴承螺旋驱动升降台
行程:25mm,分辨率:5.3 nm - 0.106 µm 大速度:50 mm/s 大负载:25.0 kg 定位精度:±1.0 µm 重复定位精度:±0.75 µm 直线度/平面度:±1.5 µm
常用型号:
AVS100-06 / AVSI100-06
AVS100-13 / AVSI100-13
AVS100-25 / AVSI100-25
ANT95V-3单轴升降直接驱动纳米定位工作台行程3毫米
高分辨率(1 nm),重复性(100 nm)和精度(200 nm)
行程3mm,定位精度±200 nm,分辨率1nm,直线度:±1.0 µm,大速度:75 mm/s,抖动<1 nm
ANT130V-5单轴升降直接驱动纳米定位工作台行程5mm
行程:5mm,
定位精度:±200nm,
分辨率2 nm
重复精度±75 nm
直线度:±1.0 µm
大速度:75mm/s
大加速度:0.7 g
位置稳定精度:<2 nm
AVL1000机械轴承直线电机升降台
行程:2mm
精度:±1 µm
直线度:±1 µm
大负载:50 kg
AVS1000机械轴承滚珠丝杠升降台
行程:10mm
定位精度:±1.0 µm
分辨率:5 nm
直线度:±0.5 µm
大速度:
20 mm/s
常用型号:
AVS1000-05
AVS1000-10
WaferMaxZ机械轴承直接驱动升降台
低轮廓
行程5mm
分辨率0.83 nm
定位精度±1.5 µm
直线度±2 µm
速度4 mm/s
速度10 kg
AirLift115气浮升降台
行程:150mm
定位精度:±1.0 µm
重复定位精度:0.05 µm
直线度:±0.25 µm
大速度:50 mm/s
大负载; 15 kg
常用型号:
AirLift115-050
AirLift115-100
AirLift115-150
ANT95LZ系列直驱纳米Z轴定位工作台
高分辨率(2 nm),重复性(75 nm)和精度(300 nm)
行程:50mm
常用型号:
ANT95LZ-025
ANT95LZ-050
ANT130LZ系列Z轴直驱纳米定位工作台
高分辨率(2 nm),重复性(75 nm)和精度(300 nm)
行程:60mm
定位精度:±3 µm
分辨率:2 nm
直线度:±2.0 µm
大负载:10kg
常用型号:
ANT130LZ-035
ANT130LZ-060
ANT130LZS单轴直接驱动纳米定位工作台
行程:60 mm
定位精度:±275 nm
分辨率:2 nm
重复定位精度:±35 nm
直线度:±1.5 µm
平面度; ±1.5 µm
大速度:200 mm/s
加速度:1g
位置稳定精度:2nm
负载:14 kg
常用型号:
ANT130LZS-035 ANT130LZS-060
ABL1500Z气浮轴承直线电机升降台
行程:可达200mm
定位精度:±0.2um
重复定位精度:±0.1um
直线度:±0.4um
大速度:300mm/s
大加速度:2g
负载:15kg
常用型号:
ABL1500Z-050
ABL1500Z-100
ABL1500Z-150
ABL1500Z-200
VTS300机械轴承丝杠驱动升降台
行程可达200mm,大速度:5mm/s,大负载450 kg,定位精度:±25 µm,直线度±10 µm/25 mm
VTS300-050
VTS300-100
VTS300-150
VTS300-200