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威尔摩新(北京)科技有限公司 主营产品:力矩电机、驱动器、控制器、精密平台

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Aerotech精密直线定位平台

价格:¥ 电议

品牌名称:$brandModel.Title型号: 原产地:美洲 更新时间:2024/3/14 7:15:14

产品摘要:Aerotech精密直线定位平台包括利用我们自己的无刷线性直接驱动伺服电机及有刷或无刷旋转电机驱动的滚珠丝杠。Aerotech为工业机器人,光纤和光子学,视觉系统,机床,组件,半导体设备,医疗部件激光加工,激光微加工,电子制造中的高性能应用提供线性定位平台,以及其他工业自动化应用。Aerotech线性位移台具有X,XY和XYZ等组合。

产品完善度: 访问次数:355

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手机网站:http://wap.app17.com/c138869/

详细内容

 

Aerotech精密直线定位平台

赵贵军:185-1855-9188   邮箱:guijun.zhao@goldkong.com




产品简介


Aerotech
的线性定位平台,包括利用我们自己的无刷线性直接驱动伺服电机及有刷或无刷旋转电机驱动的滚珠丝杠。Aerotech为工业机器人,光纤和光子学,视觉系统,机床,组件,半导体设备,医疗部件激光加工,激光微加工,电子制造中的高性能应用提供线性定位平台,以及其他工业自动化应用。Aerotech线性位移台具有XXYXYZ等组合。

产品选型

ABL1000
系列气浮直线电机定位平台

行程:可达150mm

驱动方式:直线电机

分辨率:0.5nm

速度:300mm/s

加速度:1g

负载:15kg

定位精度:±0.2 µm

重复定位精度; ±50 nm

直线度、平面度:±0.25 µm

俯仰:±0.25 arc sec

常用型号:

ABL1000-025    

ABL1000-050    

ABL1000-100 

ABL1000WB-050       

ABL1000WB-100       

ABL1000WB-150

 

ABL1500系列气浮直驱平台

行程:可达500mm

定位精度:±0.2 µm

重复定位精度:±0.05 µm

直线度/平面度:±0.25 µm

大速度:2 m/s

大加速度:2 g

大负载:35kg

常用型号:

ABL1500-050    

ABL1500-100    

ABL1500-200

ABL1500-300    

ABL1500-400    

ABL1500-500

 

ABL1500-B系列气浮直线定位平台

行程:可达500mm

定位精度:±0.3 µm

重复定位精度:±0.15 µm

直线度:±0.25 µm

平面度:±0.25 µm

大速度:2 m/s

大加速度:2 g

常用型号:

ABL1500-B-050

ABL1500-B-100

ABL1500-B-200

ABL1500-B-300

ABL1500-B-400

ABL1500-B-500

 

ABL1500WB系列气浮直线平台

行程:可达500mm

定位精度:±0.4 µm

重复定位精度:±0.1 µm

直线度:±0.5 µm

平面度:±0.5 µm

大速度:2 m/s

大加速度:2 g

大竖直方向负载:60 kg

 

常用型号:

ABL1500WB-200 

ABL1500WB-300 

ABL1500WB-400 

ABL1500WB-500

 

ABL1500WB-B系列气浮直线平台

行程:可达500mm

定位精度:±0.5 µm

重复定位精度: ±0.25 µm

直线度/平面度:±0.5 µm

大速度:2 m/s

大加速度:2g

常用型号:

ABL1500WB-B-200    

ABL1500WB-B-300    

ABL1500WB-B-400    

ABL1500WB-B-500

 

ABL2000系列气浮直线平台

行程:可达1000mm

大速度:2 m/s

大加速度:2g

定位精度:±0.75 µm

重复定位精度:±0.3 µm

直线度/平面度:±2.0 µm

常用型号:

ABL2000-0100    

ABL2000-0200    

ABL2000-0300    

ABL2000-0400

ABL2000-0500    

ABL2000-0750    

ABL2000-1000

 

ABL8000系列气浮直线平台

定位精度:±0.5 µm

重复定位精度:±0.2 µm

平面度:±0.4 µm

大速度:2 m/s

大加速度:2g

 

常用型号:

ABL8000-0200    

ABL8000-0300    

ABL80000-0400  

ABL8000-0500    

ABL8000-0750    

ABL8000-1000

 

ANT95L单轴线性直驱纳米定位平台

特点:

1、比较长行程范围可实现纳米运动

2、高分辨率,高精度

3、位置稳定精度<1nm

4、交叉滚柱轴承

5、高动态性能

应用:

例如高精度定位,磁盘驱动器制造,光纤对准,光学延迟元件致动,传感器测试和需要扫描的扫描过程平稳而精确的运动。

参数:

定位精度:±250 nm

重复定位精度:±75 nm

分辨率:1nm

行程:可选100mm

直线度:2um

大速度:500毫米/

大加速度:3g

位置抖动:<1 nm

常用型号:

ANT95L-025

ANT95L-050

ANT95L-075

ANT95L-100

 

 

ANT130L线性直驱纳米定位系统

参数:

行程:可选160mm

定位精度:±250 nm

分辨率:1 nm

重复定位精度:±25 nm

直线度:±1.0 µm

平面度:±1.0 µm

速度:350 mm/s

加速度:1g

位置抖动:<1 nm

常用型号:

ANT130L-035     

ANT130L-060

ANT130L-110     

ANT130L-160

 

ANT180L纳米定位平台

行程:360mm

定位精度:±150 nm

重复定位精度:±100 nm

分辨率:1nm

直线度:±1.0 µm

大速度:500 mm/s

大加速度:2g

 

ANT180L-160      ANT180L-210      ANT180L-260      ANT180L-360

 

ALS130H系列直线定位平台

行程150mm

供电:高80V

分辨率:0.5nm-1nm

大速度:300mm/s

大加速度:1g

大负载:12kg

定位精度:±0.3um

重复定位精度:75nm

直线度:±1um

常用型号:

ALS130H-025

ALS130H-050

ALS130H-100

ALS130H-150

 

ALS135系列直线定位平台

行程:200mm

分辨率:0.0025 µm - 1.0 µm

速度:300 mm/s

大加速度:1g

大负载:15kg

定位精度:±0.3um

重复定位精度:±100nm

 

常用型号:

ALS135-025 ALS135-050 ALS135-100 ALS135-150 ALS135-200

 

 

PRO115LM

行程:可达600mm

定位精度:±0.75 µm

分辨率:5nm

重复定位精度:±0.4 μm

直线度:±1.5 μm

大速度:2m/s

大加速度:3g

负载:40kg

 

PRO165LM

定位精度:±1 μm

行程:可达1000mm

分辨率:5nm

重复定位精度:±0.4 μm

大速度:2 m/s

大加速度:3g

负载:45kg

 

 

PRO190LM

行程:1000mm

定位精度:±1 μm

分辨率:5nm

重复定位精度:±0.3 μm

直线度:±1.5 μm

速度:2m/s

加速度:3g

 

PRO225

 

行程:可达1500mm

定位精度:±1um

分辨率:1nm

重复定位精度:±0.4um

大速度:2m/s

大加速度:3g

负载:100kg

 

PRO280LM

行程:可达1500mm

定位精度:±1um

分辨率:5nm

重复定位精度:±0.4um

大速度:2m/s

大加速度:3g

大负载:150kg

 

PRO560LM

行程:可达1500mm

定位精度:±1um

分辨率:5nm

重复定位精度:±0.4um

大速度:2m/s

大加速度:3g

大负载:150kg

 

ECO165M

行程:600mm

定位精度:±1.5um

分辨率:10nm

重复定位精度:±0.75um

直线度:±3um

大速度:2m/s

大加速度:1.5g

大负载:45kg

 

ECO225LM

行程:800mm

定位精度:±1.5 μm

分辨率:10nm

重复定位精度:±0.75um

直线度:±2.5um

速度:2.5m/s

加速度:1.5g

负载:100kg

 

 

MPS50SL

行程50mm

定位精度:±1.5 µm

分辨率; 0.1 µm

直线度; ±2.0 µm

速度:5 mm/s

负载: 5 kg

常用型号:

MPS50SL-025     

MPS50SL-050

 

MPS75SL

行程:100mm

定位精度:±1.0 µm

分辨率:0.1um

直线度:±2.0 µm

速度:50 mm/s

负载:15kg

常用型号:

MPS75SL-025     

MPS75SL-050     

MPS75SL-075     

MPS75SL-100

MPS75SLE

行程:100mm

定位精度:±0.75 µm

分辨率:0.025 µm

直线度; ±2.0 µm

速度:50 mm/s

负载:15kg

 

常用型号:

MPS75SLE-025   

MPS75SLE-050   

MPS75SLE-075   

MPS75SLE-100

 

ATS100

行程:200mm

速度:100 mm/s

速度:25.0 kg

定位精度:±0.5 µm

重复定位精度:±0.3 µm

直线度:±0.5 µm

常用型号:

ATS100-050 

ATS100-100 

ATS100-150 

ATS100-200

 

ATS150

负载:250mm

分辨率:0.001 µm - 0.2 µm

大速度:115 mm/s

大负载:45.0 kg

定位精度:±1.0 µm

重复定位精度:±0.5 µm

常用型号:

ATS150-100 

ATS150-150 

ATS150-200 

ATS150-250

 

行程:150mm

定位精度:±0.5 µm

分辨率:0.025 µm

 

ATX115SL

ATX115SLE

 

行程:250mm

定位精度:±0.4 µm

分辨率; 0.025 µm

重复定位精度:±0.15 µm

直线度:±1.75 µm

速度:可达130 mm/s

负载:40 kg

ATX165SL

ATX165SLE

 

PRO115SE

PRO115SLE

行程:600mm

定位精度:±1 μm

分辨率:0.05 μm

重复定位精度:±0.5 μm

直线度:±1.5 μm

速度:300 mm/s

 

 

PRO165SE

PRO165SLE

行程:600mm

定位精度: ±1 μm

分辨率:0.05 μm

重复定位精度:±0.5 μm

大速度:300mm/s

 

 

PRO190SE

PRO190SLE

行程:800mm

定位精度: ±1 μm

分辨率:0.05 μm

重复定位精度:±0.5 μm

大速度:300mm/s

负载; 60 kg

 

PRO225SE

PRO225SLE

行程:1000mm

定位精度: ±1 μm

分辨率:0.05 μm

重复定位精度:±0.5 μm

大速度:220 mm/s

负载; 100 kg

 

 

PRO280SE

PRO280SLE

行程:1000mm

定位精度: ±1 μm

分辨率:0.05 μm

重复定位精度:±0.5 μm

大速度:220 mm/s

负载; 150 kg

 

 

PRO560SE

PRO560SLE

行程:1000mm

定位精度: ±1 μm

分辨率:0.05 μm

重复定位精度:±0.5 μm

大速度:220 mm/s

负载; 150 kg

 

 

ECO115SL

行程:600mm

定位精度: ±5 μm

分辨率:0.2 μm

重复定位精度:±4μm

大速度:300 mm/s

负载; 40 kg

 

 

ECO165SL

行程:600mm

定位精度: ±5 μm

分辨率:0.2 μm

重复定位精度:±4μm

大速度:300 mm/s

负载; 40 kg

 

ECO225SL

行程:800mm

定位精度: ±5 μm

分辨率:0.2 μm

重复定位精度:±4μm

大速度:300 mm/s

负载; 40 kg

 

ANT95XY两轴直线电机纳米定位平台

行程:50mm

定位精度:±0.25 µm

分辨率:1 nm

重复定位精度:±25 nm

大速度:500 mm/s 

位置稳定性: <1 nm

大推力:9.5 N

大负载:6kg

常用型号:

ANT95XY-025

ANT95XY-050

 

ANT130XY两轴直线电机纳米定位平台

行程:160mm

定位精度:±250 nm

分辨率:1 nm

重复定位精度:±25 nm

大速度:500 mm/s

位置稳定性: <1 nm

大推力:23 N

大负载:12kg

常用型号:

ANT130XY-060

ANT130XY-110

ANT130XY-160

 

 

PlanarDL两轴机械轴承直驱定位平台

行程:300 mm x 300 mm

定位精度: ±0.4µm

重复定位精度:±0.1 µm

分辨率:3 nm

直线度:±0.4 µm

平面度:±1 µm

大速度:1000 mm/s

大加速度:2g

大推力:156 N

大负载:30kg

常用型号:

PlanarDL-100XY       

PlanarDL-200XY       

PlanarDL-300XY

PlanarSL两轴机械轴承直驱定位平台

行程: 100 mm x 100 mm

定位精度:±1.0 µm

重复定位精度:±3um

分辨率:0.1 µm

直线度:±2.0 µm

平面度:±2.0 µm

速度:30 mm/s

负载:20 kg

常用型号:PlanarSL-100XY

 

PlanarDLA中空两轴直驱定位平台

行程:330 mm x 330 mm

定位精度:±0.4 µm

分辨率; 3.0 nm

平面度:±1.25 µm

大速度:2m/s

大加速度:2g

大负载:50 kg

常用型号:

PlanarDLA-150XY

PlanarDLA-250XY
Planar
DLA-330XY

  

ABL3600气浮开放式两轴直驱线性平台

型号:ABL36035

参数:

行程:250 mm x 250 mm

分辨率:0.001 µm - 0.2 µm

大速度:200 mm/s

大加速度:0.25 g (No Load)

大负载: 30.0 kg

定位精度: ±1 µm

重复定位精度:±0.2 µm

直线度:±0.5 µm

平面度:±1 µm

 

ATS3600机械轴承丝杠驱动双轴直线定位台

行程:400mm

大速度:200 mm/s

大负载:90.0 kg

定位精度:±2.0 µm

重复定位精度:±1.0 µm

 

常用型号:

ATS3600-100XY        

ATS3600-200XY        

ATS3600-300XY        

ATS3600-400XY

 

ABL9000两轴气浮直驱线性平台

型号:1200 mm x 1200 mm

大加速度:1 g

大负载:125.0 kg

定位精度:±1.5 ppm

重复定位精度:±0.1 µm

直线度:±0.5 µm

常用型号:

ABL9000-0300-0300 

ABL9000-0500-0500 

ABL9000-0750-0750 

ABL9000-1000-1000 

ABL9000-1200-1200

 

AHL9000系列混合承载轴承XY平台

行程:350 mm x 350 mm

分辨率:0.0005 µm - 1.0 µm

大速度:1000 mm/s

定位精度:±1.0 µm

重复定位精度:±0.2 µm

直线度:0.6 µm

常用型号:AHL90350-350

 

PlanarHD 系列两轴气浮直线平台

2m/s的速度,5g加速度,行程可达1.2m,直线光栅或者激光干涉仪反馈

定位精度:±300 nm,重复定位精度:±50 nm,位置稳定精度:20 nm

 

PlanarHDX两轴平面气浮台

速度1.5m/s 加速度5g 行程:750 mm x 750 mm   定位精度:±100 nm

重复定位精度:±15 nm 大负载40kg

常用型号:

PlanarHDX-450-450   PlanarHDX-600-600   PlanarHDX-750-750

 

MPS50SVMPS75SV微型机械轴承丝杠驱动升降台

行程:5mm   定位精度:±1.0 µm 分辨率:0.05 µm   重复定位精度:±0.75 µm

直线度:±3.0 µm   大速度:5.5 mm/s

常用型号:

MPS50SV-5       MPS75SV-5

 

 

AVS100/AVSI100系列机械轴承螺旋驱动升降台

行程:25mm,分辨率:5.3 nm - 0.106 µm   大速度:50 mm/s 大负载:25.0 kg    定位精度:±1.0 µm 重复定位精度:±0.75 µm 直线度/平面度:±1.5 µm

常用型号:

AVS100-06 / AVSI100-06   

AVS100-13 / AVSI100-13   

AVS100-25 / AVSI100-25

 

ANT95V-3单轴升降直接驱动纳米定位工作台行程3毫米

高分辨率(1 nm),重复性(100 nm)和精度(200 nm)

行程3mm,定位精度±200 nm,分辨率1nm,直线度:±1.0 µm,大速度:75 mm/s,抖动<1 nm

 

 

ANT130V-5单轴升降直接驱动纳米定位工作台行程5mm

行程:5mm

定位精度:±200nm

分辨率2 nm 

重复精度±75 nm  

直线度:±1.0 µm 

大速度:75mm/s  

大加速度:0.7 g   

位置稳定精度:<2 nm

 

AVL1000机械轴承直线电机升降台

行程:2mm

精度:±1 µm

直线度:±1 µm

大负载:50 kg 

 

AVS1000机械轴承滚珠丝杠升降台

行程:10mm

定位精度:±1.0 µm

分辨率:5 nm

直线度:±0.5 µm

大速度:
20 mm/s

常用型号:

AVS1000-05      

AVS1000-10

 

WaferMaxZ机械轴承直接驱动升降台

低轮廓

行程5mm
分辨率0.83 nm

定位精度±1.5 µm

直线度±2 µm

速度4 mm/s

速度10 kg

 

 

AirLift115气浮升降台

行程:150mm

定位精度:±1.0 µm

重复定位精度:0.05 µm

直线度:±0.25 µm

大速度:50 mm/s

大负载; 15 kg

常用型号:

AirLift115-050

AirLift115-100

AirLift115-150

 

ANT95LZ系列直驱纳米Z轴定位工作台

高分辨率(2 nm),重复性(75 nm)和精度(300 nm)

行程:50mm

常用型号:

ANT95LZ-025   

ANT95LZ-050

 

ANT130LZ系列Z轴直驱纳米定位工作台

高分辨率(2 nm),重复性(75 nm)和精度(300 nm)

行程:60mm

定位精度:±3 µm

分辨率:2 nm

直线度:±2.0 µm

大负载:10kg

常用型号:

ANT130LZ-035 

ANT130LZ-060

 

ANT130LZS单轴直接驱动纳米定位工作台

行程:60 mm

定位精度:±275 nm

分辨率:2 nm

重复定位精度:±35 nm

直线度:±1.5 µm

平面度; ±1.5 µm

大速度:200 mm/s

加速度:1g

位置稳定精度:2nm

负载:14 kg

常用型号:

ANT130LZS-035        ANT130LZS-060

 

ABL1500Z气浮轴承直线电机升降台

行程:可达200mm

定位精度:±0.2um

重复定位精度:±0.1um

直线度:±0.4um

大速度:300mm/s

大加速度:2g

负载:15kg

常用型号:

ABL1500Z-050 

ABL1500Z-100 

ABL1500Z-150 

ABL1500Z-200

 

VTS300机械轴承丝杠驱动升降台

行程可达200mm,大速度:5mm/s,大负载450 kg,定位精度:±25 µm,直线度±10 µm/25 mm

常用型号

VTS300-050     

VTS300-100     

VTS300-150     

VTS300-200

 

 
关键词:
Aerotech,精密直线定位平台,气浮平台

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